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精度：XY方向<10um；高度=0.37um
重复精度：高度<1um(4sigma)；面积/体积<<1%(4sigma)
检测面积：480x490mm
检测速度：0.35秒/FOV
PCB尺寸：515x505mm
最小检测元件：01005（英制）
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重复精度：高度<1um(4sigma)；面积/体积<<1%(4sigma)
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